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中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司
以高真空、超高真空、超潔凈真空技術為基礎，主要研發生產各類薄膜材料制備設備、納米材料制備設備、真空冶金設備、單晶爐、太陽能光伏設備、集成電路裝備、大科學工程裝備、無油真空獲得（干式真空泵）及系統集成。
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